陜西高精度光學(xué)膜厚測量系統項目公告

1. 招標條件
本招標項目高精度光學(xué)膜厚測量系統（項目名稱(chēng)）的招標人為中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動(dòng)控制研究所，招標項目資金來(lái)自國撥資金。該項目已具備招標條件，現進(jìn)行國內公開(kāi)招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：TC2412PP1
2.2 項目名稱(chēng)：高精度光學(xué)膜厚測量系統
2.3 數量：1套
2.4 技術(shù)規格：高精度光學(xué)膜厚測量設備，由橢偏儀部分和測控計算機部分組成。橢偏儀部分實(shí)現待測材料光學(xué)信息采集，包括光學(xué)雙臂（起偏臂，檢偏臂）、光源、多維樣品臺、微區可視相機、激光找平系統等。計算機部分控制橢偏儀操作與數據處理，包含數據分析軟件與材料庫。本設備用于快速無(wú)損精確獲取單層、多層各向同性/各向異性微納級別光學(xué)薄膜的折射率、膜厚和均勻性等光學(xué)參數信息測量表征。波長(cháng)測量范圍：210nm-1690nm；厚度重復性?xún)?yōu)于0.05nm。更多指標詳見(jiàn)第五章供貨要求。
2.5 交貨地點(diǎn)：用戶(hù)現場(chǎng)指定地點(diǎn)。
2.6 交貨期：合同簽字并蓋章生效后3個(gè)月內（含包裝運輸、現場(chǎng)安裝、調試、培訓等，達到交付與驗收狀態(tài)）
3. 投標人資格要求