江蘇無(wú)錫華潤上華科技有限公司無(wú)錫華潤微電子干泵集采標段二:Clean制程干泵公告
資格預審公告
公告編號:DZXYGG202505140045
一、采購項目基本情況
采購人:無(wú)錫華潤上華科技有限公司
采購項目名稱(chēng):無(wú)錫華潤微電子干泵集采標段二:Clean 制程干泵
采購項目編號:DZCGXY202505140029
采購內容和范圍:無(wú)錫華潤微電子干泵集采標段二:Clean 制程干泵
是否采用費率尋源:否
二、申請人資格要求
1. 資格要求:生產(chǎn)原廠(chǎng)(提供營(yíng)業(yè)執照)或原廠(chǎng)官方代理商(提供代理商證)。
2. 業(yè)績(jì)要求:2022年1月1日起至投標截止日,持續在8寸及以上量產(chǎn)半導體晶圓工廠(chǎng)內有銷(xiāo)售安裝實(shí)例的,≥550m3/h 對應型號在8寸及以上量產(chǎn)半導體晶圓工廠(chǎng)Clean制程近2年裝機數量不少于50臺(提供合同或銷(xiāo)售訂單)。
3. 技術(shù)要求:滿(mǎn)足發(fā)包規范所有技術(shù)要求(提供蓋章確認發(fā)包規范附件)