硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)廢水處理及回用工藝
中國污水處理工程網(wǎng) 時(shí)間：2014-2-16 9:31:24
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摘要：針對硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò)程中排放的廢水性質(zhì)，對相應的廢水處理工藝及廢水站進(jìn)行分析介紹，以期盡可能控制電池生產(chǎn)中的廢水污染，為硅晶電池生產(chǎn)線(xiàn)的廢水處理系統設計提供參考和借鑒。
關(guān)鍵詞：酸洗制絨、含氟廢水、含IPA廢水、含鉻廢水
1、概述
盡管太陽(yáng)能是綠色能源，且太陽(yáng)能電池廠(chǎng)排放的污染物，與石油、煤炭行業(yè)相比，對環(huán)境的污染要少很多。但由于目前國內太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)技術(shù)落后、政策不完善等原因，電池生產(chǎn)過(guò)程在國內仍存在較嚴重的污染。對電池生產(chǎn)的廢水污染的控制是一個(gè)不可回避的現實(shí)問(wèn)題。
2、硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)廢水濃度和性質(zhì)分析
硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中在腐蝕清洗、去磷硅玻璃和石英管清洗等工藝過(guò)程中須使用KOH、IPA、鉻酸、HF、HCl、H2SO4等化學(xué)藥品，相應的產(chǎn)生含IPA濃廢液廢水和含氟廢液廢水、含鉻廢水。硅太陽(yáng)能電池的主要生產(chǎn)工序如下：
清洗：清洗的主要目的是去除硅片上的污物。
制絨：硅晶太陽(yáng)能電池的制絨工藝是加入鉻酸或HNO3、HF、H2SO4的強氧化性溶液將切割后硅片上的污物清除，在硅片上形成減反織構。
擴散：磷擴散是在硅片表層摻入純雜質(zhì)原子的過(guò)程。
刻蝕、去PSG：利用HF溶液對硅片邊緣進(jìn)行腐蝕，去除硅片邊緣的PN結。
去PSG是對刻蝕后硅片上的磷硅玻璃用氫氟酸等清洗的方法進(jìn)行清除。具體參見(jiàn)http://www.sharpedgetext.com更多相關(guān)技術(shù)文檔。
等離子化學(xué)氣相沉積(PECVD)：PECVD被使用來(lái)在硅片上沉積氮化硅材料。
絲網(wǎng)印刷：是通過(guò)絲網(wǎng)印刷機將銀漿或鋁漿等導電材料印刷在硅片上。
