公布日：2022.04.15
申請日：2022.01.17
分類(lèi)號：C02F9/06(2006.01)I;C01C1/16(2006.01)I;C02F101/14(2006.01)N
摘要
本發(fā)明提供一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，降低能耗費用的同時(shí)，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環(huán)境安全；其包括以下步驟，將含氟處理廢水通入預反應罐與回收氫氟酸溶液進(jìn)行預處理，得到氟化氫銨溶液；然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級電滲析處理，一級電滲析裝置處理得到一級淡水和一級濃水，一級淡水進(jìn)入淡水儲罐，一級濃水經(jīng)一級濃水罐進(jìn)入二級電滲析裝置處理得到二級淡水和二級濃水，二級淡水回用于一級電滲析裝置，二級濃水進(jìn)入濃水儲罐。
權利要求書(shū)
1.一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于，其包括以下步驟，S1：將氟化銨質(zhì)量分數為0.5-5%的含氟處理廢水通入預反應罐，加入質(zhì)量分數為10-50%的回收氫氟酸溶液進(jìn)行預處理，所述含氟處理廢水與所述回收氫氟酸溶液的用量為所述氟化銨和氫氟酸的摩爾比1：1.05-1：1.2，常溫常壓下反應15-30分鐘，得到氟化氫銨溶液；S2：然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，并控制所述氟化氫銨溶液通過(guò)所述微濾過(guò)濾器的壓力為0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氫銨過(guò)濾液；S3：再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級電滲析處理，一級電滲析裝置處理2h，得到一級淡水和一級濃水，所述一級濃水經(jīng)一級濃水罐進(jìn)入二級電滲析裝置，所述一級淡水進(jìn)入淡水儲罐，所述二級電滲析裝置處理1h，得到二級淡水和二級濃水，所述二級淡水回用于所述一級電滲析裝置，所述二級濃水進(jìn)入濃水儲罐。
2.根據權利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S2中，過(guò)濾時(shí)，使用增壓泵控制所述壓力。
3.根據權利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S2中，所述微濾過(guò)濾器采用聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，膜孔徑為10μm。
4.根據權利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S3中，所述電滲析裝置的電滲析膜為均相膜。
5.根據權利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S3中，所述電滲析裝置的電極為鈦涂銥鉭電極。
6.根據權利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S1中，所述預反應罐設有攪拌裝置。
發(fā)明內容
針對現有蝕刻廢液蒸發(fā)濃縮處理工藝得到的處理廢水含氟量不達標、直接排放導致環(huán)境污染，回用于廢液處理工藝耗能較大的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，降低能耗費用的同時(shí)，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環(huán)境安全。
本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：其特征在于，其包括以下步驟，S1：將氟化銨質(zhì)量分數為0.5-5%的含氟處理廢水通入預反應罐，加入質(zhì)量分數為10-50%的回收氫氟酸溶液進(jìn)行預處理，所述含氟處理廢水與所述回收氫氟酸溶液的用量為所述氟化銨和氫氟酸的摩爾比1：1.05-1：1.2，常溫常壓下反應15-30分鐘，得到氟化氫銨溶液；S2：然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，并控制所述氟化氫銨溶液通過(guò)所述微濾過(guò)濾器的壓力為0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氫銨過(guò)濾液；S3：再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級電滲析處理，一級電滲析裝置處理2h，得到一級淡水和一級濃水，所述一級濃水經(jīng)一級濃水罐進(jìn)入二級電滲析裝置，所述一級淡水進(jìn)入淡水儲罐，所述二級電滲析裝置處理1h，得到二級淡水和二級濃水，所述二級淡水回用于所述一級電滲析裝置，所述二級濃水進(jìn)入濃水儲罐。
其進(jìn)一步特征在于：S2中，過(guò)濾時(shí)，使用增壓泵控制所述壓力；S2中，所述微濾過(guò)濾器采用聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，膜孔徑為10μm；S3中，所述電滲析裝置的電滲析膜為均相膜；S3中，所述電滲析裝置的電極為鈦涂銥鉭電極；S1中，所述預反應罐設有攪拌裝置。
本發(fā)明的有益效果是：本方法用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，工藝簡(jiǎn)單，不僅可避免次生危廢或者產(chǎn)生二次污染，而且在降低能耗費用的同時(shí)，可回收得到較高濃度的氟化氫銨溶液，回用于蝕刻廢液處理工藝的蒸發(fā)系統、提高資源的利用效果，經(jīng)本方法后還可降低排放水的的含氟量，使其符合排放標準，保證環(huán)境安全，或者用于其他處理工藝中的沖洗水、循環(huán)冷卻水的用水點(diǎn)，提高資源利用率。
（發(fā)明人：邱立京;王堃;劉圍;周漪雯）
